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IGBT发展动向

自从IGBT 问世以来,按照它的原理在不同场合被应用。在第2.1 章给出了IGBT 芯片的发展目标,IGBT 的发展是按照不同的路径和芯片技术进行的。不论是通过减少芯片面积来降低成本,还是提高特性使之更接近物理的理想值,IGBT 的发展都不外乎通过下面三个基本途径:
-简化单元结构/减少芯片面积/提高电流密度
- 减少新片厚度
- 提高芯片可靠工作的温度
每一个IGBT 的理念是,必须根据主要用途,在各种不同的,而且有时是矛盾的元件特性中选择折衷方案。例如,在图2.4.8 所示,
a) 在通态压降VCE(sat)和关断损耗Eoff,之间
b)在通态压降VCE(sat)和短路特性(SCSOA, 见第 3.3.4 章节)之间对于问题a),根据最新的设计理念生产的元器件,例如,SPT+(ABB 公司),IGBT4(Infineon 公司)和CSTBT(Mitsubishi 公司),可通过提高自由载流子在n发射极区的浓度来协调。缺点是大多数集电极电流在关断时下降太快,以致产生不良后果EMV 等。对b)可通过减少芯片厚度或者引入低掺杂浓度截止层来改善。决定IGBT 特性好坏的是单元结构的精密度。它决定了MOS 沟道对导通调制的影响。
图2.4.8 [文献15] 给出了一个1200V 槽沟栅极的IGBT,在温度Tj = 125°C 时,电压VCE(sat)或者集电极电流密度JC(sat)同单元尺寸(相邻两个单元的基极中心的距离)的关系曲线。
图2.4.8 1200 V-IGBT 在温度Tj = 125°C 时 a)电压VCE(sat)同间距关系 b)电流密度JC(sat)同间距关系
图2.4.9 给出了Infineon 公司生产的1200 V/75 A 的IGBT 元器件在不同发展年代的发展。
图2.4.9 Infineon 公司的1200V/75A 的IGBT 芯片的发展[文献16]
为了减低生产成本(冷却,芯片面积)提高芯片的可靠工作温度是一个发展方向。例如,Infineon 公司生产的1700V 的IGBT4 的可靠工作温度从150°C 提高到170°C。下一代的可靠工作温度将会达到200°C。当IGBT 的可靠工作温度的提高,表示续流二极管(逆向二极管)的可靠工作温度也必须提高。它对其他的一些要求,比如结构和连接等,也相应的提高

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